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GRYLLS 6600 差壓式氣體質量流量控制器產品PDF資料

發布時間:2022/6/28      點擊次數:538

Grylls6600差壓式質量流量控制器 參數0.5sccm – 6000 slm 全量程 Grylls6600差壓式質量流量控制器采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,長期穩定性0.1%F.S/年,準確度1.0%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定,可以同時顯示和輸出:瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時,還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID 調節功能。

Grylls6600差壓式質量流量控制器與熱式流量計不同,當使用氣體轉換系數時,Grylls6600差壓式質量流量控制器沒有附加的“比熱容"誤差。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。


標準參數(有關選配項,請聯系Grylls)

產品性能參數

Grylls6600系列差壓式質量流量控制器

精度(調零后標準條件下)

± 1%Full Scale

傳感器響應時間

<1 ms

重復性

± 0.2%Full Scale

零點漂移和滿量程漂移

0.2%Full Scale /   oCelsius / Atm

工作范圍和量程比

2% to 100% Full   Scale / 50:1 (100:1 optional)

最大可控流量

100% Full Scale

最大可測流量

100% Full Scale

典型響應時間

<100 ms

壓力精度(大于1大氣壓時)

±0.6% of reading

壓力精度(小于1大氣壓時)

±0.1 PSIA

溫度精度

±0.75°C








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